日本荏原OZC高浓度洁净臭氧发生器

臭氧发生器采用一种新的放电原理，通过无声和表面放电方法产生高浓度臭氧。

特点和优势

OZC型是一种臭氧发生器，能够稳定地产生大量高浓度臭氧（10vol%或更高）。通过采用高度耐臭氧和等离子体的材料，实现清洁的臭氧气体和较长的产品寿命。通过大幅增加单位面积产生的臭氧量来实现占地面积小的臭氧发生器。标配臭氧泄漏传感器等安全功能，以及在发生错误或紧急情况时安全停止设备的安全电路。

特征

在超高浓度下稳定地产生大量臭氧。

通过采用陶瓷涂层电极和蓝宝石电介质实现超洁净臭氧。

由于每单位排放面积产生大量臭氧，因此减少了占地面积。

标配臭氧检漏仪。

符合 S2-93 标准的设计。提供 CE 型号。

基本操作：氧气通过沟槽放电器（电场），从而使氧分子电离反应并产生臭氧气体。然后，客户可以根据他们的应用获取臭氧气体和用途。

应用

基于SACVD TEOS的SiO2沉积

干式光刻胶灰化

溅射

干洗和湿洗

表面氧化

氧化层的退火

超纯水消毒