1、光化学臭氧产生
Lenard于1900年首次报道了由暴露于140-190 nm紫外光的氧气形成臭氧的情况，并于1903年由Goldstein对其进行了充分评估。很快就认识到，工业生产的有效波长低于200 nm。鉴于使用基于汞的紫外线发射灯的当前技术，254nm波长与185nm波长一起传输，并且臭氧的光解与它的产生同时进行。此外，与185 nm波长相比，在254 nm处的相对发射强度高5至10倍。
用汞灯达到臭氧形成的合适的光致静止状态的尝试失败了。造成这种故障的主要原因是，热分解会随着臭氧的形成而发生。除了小规模使用或产生协同作用外，UV-臭氧过程（臭氧的UV-光化学生成）尚未达到成熟。需要进一步开发的重要阶段包括开发新的灯泡技术，该技术在波长小于200 nm时具有较少的老化和较高的发射强度。
2、电解臭氧的产生
电解产生臭氧具有历史重要性，因为1840年Schönbein首次通过硫酸电解发现了合成臭氧。设备的简单性可使该过程对小规模用户或偏远地区的用户有吸引力。
电解产生具有许多潜在的优势，包括使用低压直流电流，无需进料气制备，减小设备尺寸，在高浓度下可能产生臭氧以及在水中产生，从而消除了臭氧与水的接触流程。该方法的问题和缺点包括：
电极的腐蚀和腐蚀，阳极过电压和高电流密度导致的热过载，需要特殊的电解质或低电导率的水，并且在现场生成过程中，在电极上形成结垢和沉积物，并产生了当所用的水或电解质中存在氯离子时，游离氯是该过程所固有的。
3、放射化学臭氧的产生
放射性射线对氧气的高能辐射可促进臭氧的形成。即使该方法具有良好的热力学产率，并且有趣地使用了废物裂变同位素，但由于其复杂的工艺要求，化学核臭氧产生工艺尚未在水或废水处理中成为重要的应用。
