原子层沉积系统臭氧发生器要求

原子层沉积系统用臭氧发生器要求如下：

臭氧发生器产量10 g/h，浓度不低于80 g/m，臭氧流量可控(0~200 sccm)

以下臭氧发生器可满足要求：

1、3S-T10  ,臭氧产量10g/h，臭氧浓度120mg/L，氧气进气范围0.05-4L/min

2、NANO15，臭氧产量15g/h，臭氧浓度150mg/L，氧气进气范围0.05-2L/min

3、3S-M5，臭氧产量10g/h，臭氧浓度110mg/L，氧气进气范围0.05-2L/min

4、EXT-M10，臭氧产量5-10g/h，臭氧浓度120mg/L，氧气进气范围0.05-2L/min

5、Atlas H30  ，臭氧产量3g/h，臭氧浓度200mg/L，氧气进气范围0.05-2L/min

可根据臭氧浓度需求，体积大小，价位来选择合适的臭氧发生器。