SEMOZON® AX8415 是 MKS 开发的 很具创新性和多功能性的臭氧发生器。该发生器的新颖结构和 电池设计可产生超清洁、高浓度、高流量的臭氧，将氧气转化为 >400 g/Nm3 的高浓度臭氧，用于半导体、平板显示器和光伏行业的前沿应用。

在 5°C @ 2.5 slm 时臭氧浓度高达 425 g/Nm3 或 27.1 wt%

从 2.5 slm 到 50 slm 的 O2 流量可实现工艺灵活性

获得 的电池设计可产生高浓度臭氧

在添加或不添加氮气的情况下运行

闭环操作可实现更严格的过程控制

直接替代MKS SEMOZON AX8407臭氧发生器

规格

类型：臭氧气体发生器

臭氧输出：高达 425 g/Nm 3

流量：2.5 - 50 slm

原料气氧气：6 级或更好的 O2

氮气（可选）：100 ppm 5 级或更好的 N2

环境温度：10 - 40°C (50 - 104°F)

标称电池压力（交付）：15 - 45 磅/平方英寸（100 - 310 千帕）

压力：将过程压力保持在 20 - 50 psig

控制接口：前面板控制和远程操作

冷却水温度：5 - 25°C (41 - 77°F)

冷却水过滤：100微米

冷却水质量：电阻率 ≥ 50 kΩ/cm

很小水流量：9.4 升（2.5 加仑/分）

电压要求：208 VAC (±10%) 3Ø 和 GND，无中性线

当前要求：20安培

频率：50/60 赫兹

重量：46.3 公斤 

尺寸：483 x 445 x 267 毫米 

遵守：CE、半 S2-0302、半 F47、UL 61010-1、CAN/CSA-61010-1

SEMOZON AX8415 中设计的技术是该发生器多功能性的基础。臭氧被电子工业用于形成 CVD 和 ALD 薄膜、氧化物生长、光刻胶去除和多种清洁应用。AX8415 能够通过产生 很高浓度的超洁净臭氧来支持所有这些应用，无论是否添加氮作为掺杂剂气体。如果给定应用需要，去除臭氧形成过程中使用的微量氮可消除 NOx 化合物的形成。