住友臭氧发生器 SGRP-03JS

住友的臭氧发生器采用平板式放电电池，通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成，以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/（n），是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。

具体信息：

型号：SGRP-03JS

臭氧气体流速：350g/m3(N)

臭氧气体供应压力：15L/min (5L/min x 3Line)

冷却水温度：20°C±2°C

尺寸：W570mm x D850mm x H1,870mm

重量：360kg

功率：200-220VAC, 3-phase

型号：SGRF-03JA

臭氧气体流速：400g/m3(N)

臭氧气体供应压力：20L/min

冷却水温度：5°C

尺寸：W570mm x D850mm x H1,836mm

重量：350kg

功率：200-220VAC, 3-phase

住友臭氧发生器应用：

半导体器件

Si/复合晶圆

FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色滤光片、OLED）

光罩

发光二极管

优势：

能够通过单独控制向大容量臭氧气体提供一条管线或多条管线。

高浓度；高达400g/m3（N）

产品线丰富；小到大容量。

高压；*大0.3Mpa（SGRP系列）

无氮掺杂（SGRF系列）

高压耐受，长寿命放电单元

快速启动，快速响应

与臭氧监测仪（闭环控制）集成的稳定浓度

CE、NRTL、半标准适用

管道材料；从316LSS或PFA中选择