SEMOZON AX8575臭氧发生器系统性能图

臭氧作为强氧化剂，与其他氧化剂相比具有许多优点。臭氧具有很高的氧化还原电位，可以在使用点产生，它会自然衰变为氧气（2O3 ⇒ 3O2）。因此，它被认为是一种“绿色”化学品。如果需要，还可以使用催化或热破坏单元在处理室的输出处破坏臭氧。这显着降低了化学处理成本，因为输出是氧气且不含臭氧。臭氧在室温下非常稳定，使其成为大多数应用的理想选择。典型的臭氧应用包括 ALD、CVD、TEOS/臭氧 CVD、光刻胶剥离、晶片清洁、污染物去除、表面处理和氧化物生长。

SEMOZON AX8575 系统可配置多达四 (4) 个独立通道，以同时支持多个工具或腔室。每个通道都可以与您的特定过程所需的特定浓度和流量相匹配。对于超高浓度工艺，该系统 很多可配置为两 (2) 个通道，带有机架内冷却器，从而保持相同的占地面积。每个通道的臭氧源是经过生产验证的 SEMOZON AX8407 系列臭氧发生器。它采用了 MKS 获得的、经过现场验证的、高浓度、超洁净的臭氧发生技术。 SEMOZON AX8575 包括独立运行所需的所有子组件，包括配电、环境臭氧安全监视器和状态指示灯面板。

注：各输出通道的臭氧性能请参考右侧SEMOZON AX8575性能图。