MKS AX8561臭氧发生器介绍

MKS AX8561臭氧发生器介绍

MKS AX8561臭氧发生器已经被O3CS臭氧紧凑系统替换，O3CS紧凑型臭氧系统使用6级氧气产生纯臭氧，为半导体行业创造高质量薄膜。臭氧与各种前体气体(如Al2O3, ZrO2, HfO2和La2O3金属氧化物)反应，使薄膜沉积过程如原子层沉积(ALD)和蚀刻(ALE)。MKS的臭氧发生器电池技术，结合高纯度湿润材料和远低于其他臭氧发生器所需的掺杂气体水平，产生超清洁，高浓度臭氧，从而提高薄膜密度和产品收率。

可采用独立形式或与多达4个通道单元集成到系统机架中，每个单元向设备室输送精确的臭氧浓度。O3CS臭氧气体输送系统采用了MKS现场验证的模块化臭氧产生技术、集成臭氧浓度监控器、O2和掺杂气体种类的流量控制以及电子压力控制器。

产品特性

•紧凑的臭氧输送子系统易于与腔室工具集成

•浓度可达20 wt% (300 g/m3)

•流量从0.5到20 slm

•具有冷却功能的臭氧电池

•全电子控制，包括闭路臭氧浓度控制与集成过程监视器

- O2和掺杂气体的质量流量控制

-电子压力控制，在过程点稳定运行

•使用6级气体制成的高质量薄膜

•可配置的臭氧输出，以适应特定的工艺步骤，如沉积Al2O3

•清洁、安全，是传统化学加工的替代方案

参数

型号:O3CS

很大臭氧输出量*:25 - 225克/小时(取决于配置)

流量范围:0.5至20 slm(取决于配置)

工作范围

环境温度:20 - 40°C(68 - 104°F)

标称电池压力(输送):0.7 - 3.1 bargauge (10 - 45 psig)

控制接口:远程操作，离散模拟I/O 25 pin D-sub, DeviceNet®，以太网Modbus TCP

原料气

氧气:6级或更好的氧气

氮或二氧化碳:20 - 100 ppm 5级或更好的N2

1000 - 2000 ppm 5级或更好的二氧化碳

冷却水

温度:17 - 23°C(63 - 73°F)

过滤:100微米

质量:电阻率≥50 KΩ/cm

很小流量@ 20°C

L/min:0.95 - 7.60 L/min很小(取决于配置)

Gpm:0.40 - 2.00 Gpm很小值(取决于配置)

交流电源

额定:208vac

相:三相GND(无中性点)

安培:额定电流2A - 10A很大(取决于配置)

Hz:50/ 60hz

重量(大约):40公斤(88磅)(取决于配置)

尺寸:(宽×深×高)482 × 429 × 267毫米(19 × 16.89 × 10.5英寸)

符合:SEMI S2-0302, SEMI F47, UL 61010-1, CAN/CSA-61010-1