Samco紫外线臭氧清洗机产品系列介绍

Samco提供多种uv-臭氧清洗机的研发和生产。Samco的系统配备了阶段加热和臭氧发生器，与传统的紫外线臭氧清洗机相比，实现了卓越的工艺性能。

紧凑的桌面紫外线臭氧清洗机是有用的样品制备在空间有限的实验室设施。Samco的开负载uv-臭氧系统能够处理300毫米的晶圆，并且与一般的等离子清洗相比，该工具具有低物理离子和充电损伤的优点。对于生产客户，盒式到盒式系统是可用的。

UV-1, UV-2和UV-300是紧凑和简单的紫外线臭氧清洗机，可以适应各种基材形状和尺寸。占地面积小的系统易于操作，并使用紫外线辐射，臭氧和热量的独特组合来温和而有效地从各种衬底中去除有机材料，包括硅，砷化镓，蓝宝石，金属，陶瓷，石英和玻璃。

该系统非常适合各种应用，如基材清洁，光刻胶去除，润湿性改善，表面改性和紫外线固化。通过在大气压下操作，UV-1, UV-2和UV-300消除了对笨重，高维护，真空系统的需要，并且不会损坏脆弱的电子设备。

UV-300H是一个300毫米紫外线臭氧系统，包括桌面系统的所有功能。基材通过滑动抽屉装载到系统中，工作台和臭氧歧管之间的间隙可手动调节，从1到11毫米，以优化工艺。

这种高性能装置提供高达500nm/min的光刻胶灰化速率，并包括许多安全功能，以保护操作人员和系统。UV-300H在大气压力下工作，不需要单独的真空系统。

随着处理量需求的增加，UV-300HC是一种全自动卡带系统，包括一个280毫米级的uv-臭氧室，大气机器人和两个卡带。盒式磁带可以配置为单个晶圆高达200mm或使用托盘批量操作。与UV-300H一样，工作台和臭氧歧管之间的间隙可手动调节，从1到11毫米，以优化过程。

选项包括冷却和加热阶段，以提高吞吐量。

Samco uv-臭氧清洗机可用于设备制造，材料科学，生物化学和分子生物学研究中的许多类型的应用。

表面清洗

设备包装引线框架和键合垫清洁

表面改性

表面活化

润湿性调制

附着力提高

表面氧化(薄氧化层沉积)

去除有机污染

光刻胶灰化

光刻胶的UV固化、除气和硬烘

光致抗蚀剂预处理

AFM针尖的清洁

石英晶体微平衡(QCM)传感器的表面清洗

表面等离子体共振(SPR)芯片的清洗

UV交联聚合物和光抗蚀剂