SCI-552是臭氧输送系统的控制器

SCI-552是臭氧输送系统的控制器，能够为很多系统部件提供电气控制界面，包括：臭氧发生器、EV阀、质量流量计、背压控制器、TAPI 452臭氧传感器、 TAPI 470 溶解臭氧传感器和水冷却器。

SCI-552基于软硬件特点，提供了很多系统联锁功能，它灵活性高，允许用户通过前面板用户界面、MODBUS串行接口或各种离散型数字和模拟输入来控制整个系统。SCI-552能够支持两台臭氧发生器并提供两条独立的臭氧输出渠道。

SCI-552型臭氧发生器控制器参数

显示：2 行 x 40 字母、数字,真空荧光

分辨率：0.01% w/w

周期 ：不间断测量,每2秒或0.5 Hz刷新

数字I/O ：RS-232 C, 双向

装置I/O：发生器支持 能够支持两台臭氧发生器，工业标准 引出线

质量流量计控制： 4 - DB-9 连接体，支持四台质量流量 计

背压控制器：2 - DB-15 连接体，支持两台电子背 压调节器

臭氧发生器：2 - 10 针IDC，支持两台臭氧发生器

EV阀：2 - 2 针连接体 - 24 VDC

冷却器：1 - DB-15 冷却器连接体

客户系统I/O联锁：1- 系统硬件联锁

                              1 - 通讯联锁

                              (可用户配置)

                             1 - 软件联锁 (背压)

串行数字 ：RE-232, DB-25 (Modbus标准 -可选其他选项)

AC电源：90到240VAC, 50/60 Hz

典型功率： 低于225 W 

尺寸 ：(宽 x 高 x 长) 19” x 7” x 9”(48 cm x 17.8 cm x 22.86 cm)

重量：10.9 磅 (4.94 千克)

环境：只为室内应用而设计

运行温度： 5 - 35˚C

相对湿度：80%, 无冷凝

保修 ：1 年

认证：CE

应用

 化学气相沉积(CVD)

原子层沉积(ALD)

氧化物生长

表面处理

灰化

粒子清洁

光刻胶去除

其他