发布日期:2023-05-04 浏览次数:
SEMOZON® AX8410 臭氧发生器 有没有替代呢
SEMOZON® AX8410 臭氧发生器介绍
SEMOZON®AX8410 PRIME是MKS下一代紧凑、高浓度、高流量、超清洁臭氧发生器平台的首款产品。它采用了新设计的电池和电源结构,可实现类似占地面积的早期型号的两倍臭氧输出。
特点
5°C时臭氧浓度高达375 g/Nm3或24.2 wt%
氧气流速从5slm到80slm,可实现工艺灵活性
结构设计提高了间隙均匀性,从而能够生产高浓度臭氧
高臭氧产量带来创新的系统设计机会
闭环操作,实现更严格的过程控制
用于智能前面板操作和控制的多参数触摸屏接口
参数
类型:臭氧气体发生器
臭氧输出:至335 g/Nm3
流速:5-80 slm
原料气:氧气:6级或以上O2,氮气:100-1000 ppm 5级或以上N2
标称单元压力(输送):15-45 psig(100-310 kPa)
压力:20-50磅/平方英寸
控制接口:前面板控制和远程操作
冷却水:温度5-25°C(41-77°F)
冷却水:过滤100微米
冷却水:质量电阻率≥50 KΩ/cm
很小水量:流量22.7 lpm(6.0 gpm)
电压要求:208 VAC(±10%)
相位:3Å&接地,无中性
电流要求:50安培
频率:50/60 Hz
重量:77公斤(170磅)
尺寸:483 x 521 x 267毫米(宽x深x高)
合规性:CE、UL/CSA和SEMI F47
目前能完全替代的只有日本住友的,其他品牌也能满足部分要求,如果需要可以联系同林。