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SEMOZON® AX8410 臭氧发生器 有没有替代呢

发布日期:2023-05-04  浏览次数:

SEMOZON® AX8410 臭氧发生器 有没有替代呢

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SEMOZON® AX8410 臭氧发生器介绍

SEMOZON®AX8410 PRIME是MKS下一代紧凑、高浓度、高流量、超清洁臭氧发生器平台的首款产品。它采用了新设计的电池和电源结构,可实现类似占地面积的早期型号的两倍臭氧输出。

特点

5°C时臭氧浓度高达375 g/Nm3或24.2 wt%

氧气流速从5slm到80slm,可实现工艺灵活性

结构设计提高了间隙均匀性,从而能够生产高浓度臭氧

高臭氧产量带来创新的系统设计机会

闭环操作,实现更严格的过程控制

用于智能前面板操作和控制的多参数触摸屏接口

参数

类型:臭氧气体发生器

臭氧输出:至335 g/Nm3

流速:5-80 slm

原料气:氧气:6级或以上O2,氮气:100-1000 ppm 5级或以上N2

标称单元压力(输送):15-45 psig(100-310 kPa)

压力:20-50磅/平方英寸

控制接口:前面板控制和远程操作

冷却水:温度5-25°C(41-77°F)

冷却水:过滤100微米

冷却水:质量电阻率≥50 KΩ/cm

很小水量:流量22.7 lpm(6.0 gpm)

电压要求:208 VAC(±10%)

相位:3Å&接地,无中性

电流要求:50安培

频率:50/60 Hz

重量:77公斤(170磅)

尺寸:483 x 521 x 267毫米(宽x深x高)

合规性:CE、UL/CSA和SEMI F47


目前能完全替代的只有日本住友的,其他品牌也能满足部分要求,如果需要可以联系同林。