SEMOZON® AX8555 臭氧输送系统可配置多达四 (4) 个独立通道，以同时支持多个 ALD 工具或腔室。每个通道都可以与您的特定过程所需的特定浓度和流量相匹配。它包括独立运行所需的所有子组件，包括配电、环境臭氧安全监视器、状态指示灯面板和每个通道的可选集成臭氧破坏器。

特点：

高臭氧浓度

超净臭氧

占地面积小

拥有成本低

规格

类型：臭氧气体输送系统

臭氧输出：每个通道 26 - 180 克/小时

流量：每个通道 0.5 - 5 slm

原料气：氧气、氮气（总流量的 20 - 100 ppm）、二氧化碳（总流量的 1000 - 2000 ppm）

原料气供应压力：标称60 psig (4.2 kg/cm 2 )， 很大 75 psig (5.3 kg/cm 2 )，N2/CO2 压力比 O2 压力高 10 psi

原料气纯度： 很低 99.9995%

工作温度：41 - 104°F (5 - 40°C)

所需冷却水温度：63 - 73°F (17 - 23°C)

需要冷却水过滤：20微米

所需的冷却水质量：脱矿质

所需的冷却水 很小流量： 很低 1.0 gpm (2.3 - 3.8 slm) 至 很高 1.6 gpm。每个通道（取决于配置）

需要冷却水连接：1/2 英寸压缩 (Swagelok®)

需要冷却水流量控制/指示：带阀变面积流量计

需要冷却水压力指示：入口压力表

电压要求：208 伏交流电 (±10%)，三相

当前要求：15 安培 RMS，30 安培服务，31 安培 RMS，50 安培服务（取决于配置）至少 10,000 AIC

频率：50/60 赫兹

压力指示：每种气体的入口压力表

排气流量：150 立方英尺/秒（70.8 升/秒）

排气类型：SEMI 类别 4（危险气体或蒸气的意外或紧急释放）

排气静压： 很小 0.10 英寸（2.54 毫米）H2O 在机柜上的管道法兰适配器底部测量

控制气压：70 - 100 磅/平方英寸

控制空气类型：CDA 或干燥氮气，40µm 过滤

控制空气接头：1/4 英寸压缩 (Swagelok®)

排气连接：6 英寸直径的管道开口

尺寸：24 x 75 x 36 英寸（610 x 1575 x 914 毫米）（宽 x 高 x 深）

相对湿度：30 - 90%（非冷凝）

重量：600 lbs.(272 kg) 用于配备一台发电机的系统，880 lbs.(400 kg) 用于配备四台发电机的系统

遵守：CE, S2 - 0302, F47

高度：平均海平面以上 3280 英尺（1000 米）