SEMOZON® AX8585 独立式臭氧气体输送系统是围绕 AX8410 PRIME 臭氧发生器设计的，可提供高流量、高浓度、超洁净的臭氧产生和输送。这条完全可配置的产品线旨在满足半导体行业不断变化的需求。每个 SEMOZON AX8585 都是一个完全集成的高输出臭氧气体输送系统，旨在用于越来越多的半导体工艺应用，例如 ALD、CVD、TEOS/臭氧 CVD、光刻胶剥离、晶片清洁、污染物去除和氧化物生长。

特点

完全集成的交付系统可实现快速、轻松的安装和快速启动，所需的连接少

支持单个或多个工艺工具，以实现高效率和更低的运营成本

模块化设计允许每个通道进行过程匹配以获得大的灵活性

闭环浓度控制提供更严格的过程控制以提高产量

带有触摸屏的用户友好型控制器为与工具连接、设置臭氧浓度和流速以及安全监控提供了简单的中央控制

规格

类型：臭氧气体输送系统

臭氧输出：375g/Nm 3

流量：每台发电机 22.7 lpm (6.0 gpm)

原料气：氧气、氮气（总流量的 100 - 1000 ppm）

原料气供应压力：O2 压力 55 ±2 psig (379 ±13.5 kPa, 3.8 ±0.14 kg/cm 2 ), N2 压力 60 ±2 psig (413 ±13.5 kPa, 4.12 ±0.14 kg/cm 2 )

原料气纯度：氧气：6 级或更好的 O2，氮气：5 级或更好的 N2

工作温度：5 - 40°C (41 - 104°F)

所需冷却水温度：5 - 25°C (41 - 77°F)

需要冷却水过滤：100微米

所需的冷却水质量：3 - 0.5 MΩcm DI

所需的冷却水 很小流量：每台发电机 22.7 lpm (6.0 gpm)（取决于配置）

需要冷却水连接：1 英寸压缩 (Swagelok®)

所需冷却水热负荷：每台发电机 11 千瓦

电压要求：208 伏交流电 (±10%)，三相

频率：50/60 赫兹

排气流量：每台发电机 70.8 l/s (150 cfm)

排气类型：SEMI 类别 4（危险气体或蒸气的意外或紧急释放）

排气静压： 很小 3.05 毫米（0.16 英寸）H2O，在机柜管道入口处测量

控制气压：70 - 100 磅/平方英寸（483 - 689 千帕）

控制空气类型：CDA 或干燥氮气，40µ 过滤

控制空气接头：0.25 英寸压缩 (Swagelok®)

排气连接：8 英寸直径的管道开口

尺寸：28.4 x 81.7 x 41.4 英寸（722 x 2074 x 1051 毫米）（宽 x 高 x 深）

相对湿度：30 - 90%（非冷凝）

重量：345 kg (760 lb) 用于带一台发电机的系统

遵守：CE、UL/CSA、半 S2、半 F47

高度： 很高高于平均海平面 1000 m (3280 ft)