SEMOZON® AX8575 多通道臭氧输送系统，带机架内冷却器

SEMOZON® AX8575 是一个完全集成的高输出臭氧气体输送系统，可配置为多通道系统，为多达 4 个通道提供臭氧，支持多个腔室或多个工具。它有一个可选的机架内冷却器，用于超高浓度。

• 在更高流速下提供高达 350g/Nm3 的浓度

• 只需少的连接即可实现快速、轻松的安装和快速启动

• 模块化设计允许每个通道进行过程匹配以获得 很大的灵活性

• 闭环浓度控制提供更严格的过程控制以提高产量

• 带有触摸屏的用户友好型控制器提供简单的中央控制，用于与工具、臭氧浓度和流速监测以及安全监测的接口

• MKS 的、经过现场验证的臭氧发生技术在该系统中实施，以确保可靠性

主要优势

• 环保解决方案可还原为无害 O2，无需进行危险化学品处理

• 在使用点生成，无需存储或运输

• 由于还原电位高，通过减少氧化时间来提高产量

• 支持单个或多个工艺工具，以实现 很高效率和更低的运营成本

参数

类型：臭氧气体输送系统

臭氧输出：350g/Nm 3

流量：40 平方毫米

原料气：氧气、氮气（总流量的 20 - 100 ppm）

原料气供应压力：标称50 psig (3.5 kg/cm 2 )， 很大 60 psig (4.2 kg/cm 2 )，N2 压力比 O2 压力高 10 psi

原料气纯度： 很低 99.9995%

工作温度：41 - 104°F (5 - 40°C)

所需冷却水温度：12 - 21°C 有冷却器，5 - 17°C 没有冷却器

需要冷却水过滤：100 微米过滤 PWC（带冷却器）

所需的冷却水质量：1 - 3 MOhm DI，注： 很大 DI 水/乙二醇混合物：70/30

所需的冷却水 很小流量：标称 10 gpm（水调节阀范围：2 - 10 gpm）带冷却器，每台发电机 2.5 gpm（取决于配置）不带冷却器

需要冷却水连接：1 英寸压缩 (Swagelok®)

所需冷却水热负荷：10 kw（基于两台发电机配置）带冷水机，每台发电机 5 kw 不带冷水机

电压要求：208 伏交流电 (±10%)，三相

当前要求：31 安培 RMS，50 安培服务（取决于配置）至少 10,000 AIC，60 安培服务，带冷却器

频率50/60 赫兹

排气流量：150 立方英尺/秒（70.8 升/秒）

排气类型：SEMI 类别 4（危险气体或蒸气的意外或紧急释放）

排气静压： 很小 0.10 英寸（2.54 毫米）H2O，在机柜上的管道法兰适配器底部测量

控制气压：70 - 100 磅/平方英寸

控制空气类型：CDA 或干燥氮气，40µm 过滤

控制空气接头：1/4 英寸压缩 (Swagelok®)

排气连接：6 英寸直径管道开口或 4 英寸直径管道开口

尺寸：24 x 75 x 36 英寸（610 毫米 x 1575 毫米 x 914 毫米）（宽 x 高 x 深）

相对湿度：30 - 90%（非冷凝）

重量：600 lbs.(272 kg) 用于配备一台发电机的系统，880 lbs.(400 kg) 用于配备四台发电机的系统，1100 lbs. (499 kg) 用于带有两台发电机和内部冷却器的系统

遵守：CE, S2 - 0302, F47

高度：平均海平面以上 3280 英尺（1000 米）