美国API臭氧发生器控制器SCI-552参数
- 适合应用于半导体工业流程 -
CI-552 是臭氧输送系统的系统控制器，为许多典型系统组件提供电子控制接口，包括：臭氧发生器、EV 阀、质量流量控制器、背压控制器、Teledyne API 452 臭氧传感器、Teledyne API 470 溶解臭氧传感器和冷水机组。
SCI-552 具有硬件和软件支持多种系统联锁功能。SCI-552 为很终用户提供了灵活性，允许通过前面板用户界面、MODBUS 串行接口或各种离散的数字和模拟 I/O 点控制系统。SCI-552 设计用于支持两个臭氧发生器，提供两个独立的臭氧输出通道。
特点
RS-232 MODBUS 远程支持
控制多达 2 个臭氧发生器
很多可连接 2 个 452 型和 470 型臭氧传感器
控制多达 4 个质量流量控制器
控制多达 2 个背压控制器
控制多达 2 个 EV 阀
控制冷水机组
系统联锁输入
远程系统级控制和状态 I/O
参数
显示 ：2 行 x 40 字母、数字,真空荧光
分辨率 ：0.01% w/w
周期 ：不间断测量,每2秒或0.5 Hz刷新
数字I/O ：RS-232 C, 双向
装置I/O发生器支持 ：能够支持两台臭氧发生器，工业标准 引出线
质量流量计控制： 4 - DB-9 连接体，支持四台质量流量 计
背压控制器 ：2 - DB-15 连接体，支持两台电子背
压调节器
臭氧发生器 ：2 - 10 针IDC，支持两台臭 氧发生器
EV阀 2： - 2 针连接体 - 24 VDC
冷却器 ：1 - DB-15 冷却器连接体
客户系统I/O联锁：
1- 系统硬件联锁
1 - 通讯联锁 (可用户配置)
1 - 软件联锁 (背压)
串行数字： RE-232, DB-25 (Modbus标准 -可选其他选项)
AC电源： 90到240VAC, 50/60 Hz
典型功率： 低于225 W
尺寸 ：(宽 x 高 x 长) 19” x 7” x 9”(48 cm x 17.8 cm x 22.86 cm)
重量： 4.94 千克
环境 ：为室内应用而设计
运行温度 ：5 - 35˚C
相对湿度： 80%, 无冷凝
保修 ：1 年
认证： CE
