美国API 452型过程臭氧测量模块
- 适合应用于半导体行业 -
452是基于微处理器的、能够精准可靠地测量氧气或空气中的高浓度臭氧的气体测量模块。 测量原理是基于254nm波长的紫外吸收法。读数的单位可在重量百分比和克/立方米中选择。温度补偿和高达300kPa的压强补偿也是该系列仪器的特点。
仪器紧凑的设计使得它在工业过程中的安装更为简单。气体路径设计为直线（无转角或弯管，能够有效减少暴露表面积。452的测量模块只对窄波段光谱敏感，无需紫外滤光器，而紫外滤光器会被紫外线或湿度所影响，从而导致测量结果不准确。 452中使用了两个探测器：一个用于臭氧测量，另一个用于紫外灯强度变化的补偿。这种设计使得测量模块可在没有维护或校准的情况下长时间运行。测量模块内置模拟输出、RS485/RS232输出和4个光隔离状态输出以显示测量模块运行状态。
输入/输出和电源输入连接是通过15针 D-sub 接头实现的。在高纯度应用中，452支管可采用316L不锈钢、10Ra表面粗糙度、1/4” VCR接头。
参数
量程： 0-5, 0-10, 0-15, 0-20, 0-25% w/w,
0-100, 0-200, 0-300, 0-400, 0-500 g/Nm3
压力补偿： 很高300kPa绝对压强
耐压 ：115 psia
重复性： 1%满量程
响应时间： T95<2秒
零点漂移： 1% 满量程/月 (不累积)
温度范围 ：5-45°C
接触材料 ：316L不锈钢,聚四氟乙烯，蓝宝石
配件： 1/4” 不锈钢接合(管道)或高纯度VCR™或HTC®配件，316L，10Ra表面粗糙度
流量 ：0.5 到 25.0 LPM
电源 ：+15 volts @ 1.5A 很大
指示器 ：4位LED显示
模拟输出 ：0-5V满量程
零点校准 ：触点闭合输入
数字输出 ：测量模块正常, 灯强度弱, 测量室污染,
无效读数(光电隔离)
串行数据接口 ：RS232 或 RS485
尺寸 (高x宽x长) ：6.71” x 5.13” x 2.16”
(170.4 mm x 130.3 mm x 54.8 mm)
包含配件
重量 ：1.27 千克
认证： CE 和 RoHS
保修： 1 年
