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美国API 452型过程臭氧测量模块

发布日期:2023-02-13  浏览次数:

美国API 452型过程臭氧测量模块

 - 适合应用于半导体行业 -


452是基于微处理器的、能够精准可靠地测量氧气或空气中的高浓度臭氧的气体测量模块。 测量原理是基于254nm波长的紫外吸收法。读数的单位可在重量百分比和克/立方米中选择。温度补偿和高达300kPa的压强补偿也是该系列仪器的特点。

仪器紧凑的设计使得它在工业过程中的安装更为简单。气体路径设计为直线(无转角或弯管,能够有效减少暴露表面积。452的测量模块只对窄波段光谱敏感,无需紫外滤光器,而紫外滤光器会被紫外线或湿度所影响,从而导致测量结果不准确。 452中使用了两个探测器:一个用于臭氧测量,另一个用于紫外灯强度变化的补偿。这种设计使得测量模块可在没有维护或校准的情况下长时间运行。测量模块内置模拟输出、RS485/RS232输出和4个光隔离状态输出以显示测量模块运行状态。

输入/输出和电源输入连接是通过15针 D-sub 接头实现的。在高纯度应用中,452支管可采用316L不锈钢、10Ra表面粗糙度、1/4” VCR接头。

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参数

量程: 0-5, 0-10, 0-15, 0-20, 0-25% w/w,

0-100, 0-200, 0-300, 0-400, 0-500 g/Nm3

压力补偿: 很高300kPa绝对压强

耐压 :115 psia

重复性: 1%满量程

响应时间: T95<2秒

零点漂移: 1% 满量程/月 (不累积)

温度范围 :5-45°C

接触材料 :316L不锈钢,聚四氟乙烯,蓝宝石

配件: 1/4” 不锈钢接合(管道)或高纯度VCR™或HTC®配件,316L,10Ra表面粗糙度

流量 :0.5 到 25.0 LPM

电源 :+15 volts @ 1.5A 很大

指示器 :4位LED显示

模拟输出 :0-5V满量程

零点校准 :触点闭合输入

数字输出 :测量模块正常, 灯强度弱, 测量室污染, 

无效读数(光电隔离) 

串行数据接口 :RS232 或 RS485

尺寸 (高x宽x长) :6.71” x 5.13” x 2.16”

 (170.4 mm x 130.3 mm x 54.8 mm)

包含配件

重量 :1.27 千克

认证: CE 和 RoHS

保修: 1 年