ALD用高浓度臭氧发生器Atlas H30功能介绍

 在半导体领域用臭氧发生器屈指可数，如果MKS SEMOZON® AX8415、SEMOZON® AX8407、SEMOZON® AX8410 ，住友臭氧发生器货期太长，不能满足现在要求，那同林推荐Atlas H30，虽然不能完全替代前面几个型号，但可以作为替代产品来使用。下面是功能介绍视频。

可用在半导体、ALD行业。