韩国半导体用臭氧发生器CN-1介绍

优点

产生高浓度臭氧

臭氧浓度220mg/L（约15%）

流量调节0~2[LPM]

臭氧出口压力0~2kg/c㎡

原料空气氧气、氮气

可调节压力0.5~1.2kg/c㎡

冷却式水冷式专用

其他氧气发生器外置，需要外部冷却水供应，防逆流（可选）

参数

型号名称：CN-1

臭氧浓度：220g/㎥  氧气 1.0 LPM 标准

功耗：MAX 0.7KW （氧气发生器，冷却器单独)

电源规格：220V 1Φ 60Hz

冷却方法：仅限水冷式

冷却液需求：3LPM 或更高版本

流量控制：Flow Controller

控制臭氧浓度：Digital Volume

显示设备 

1. 液晶屏显示 -RUN，PURGE，ERROR，PV[%]，SV[W]

2. 测量仪LCD：显示臭氧生成浓度值

3. 控制器：在雷莫特操作时设置目标臭氧浓度

4. 流控制器：设置供气流量

5. O<> 压力表：臭氧发生器内部压力指示

控制臭氧的产生：功耗控制在 12% 到

进出口：1/4"(6.3Φ)

主材：Stainless Steel, Aluminum

尺寸 （WXDXH）：479 × 446 × 843(mm)

产品重量：约 60 Kg

操作条件

• 正常温度 （0°C 至 30°C）)

• 通风良好且无湿气的地方