CIF 紫外臭氧清洗机（UV-Ozone）

紫外臭氧清洗机（UVO），是一种简单，经济，快速高效的材料表面清洗设备，能快速去除大多数无机基材（比如石英，硅片，金，镍，铝，砷化镓，氧化铝等）上的有机污染物。

CIF 紫外臭氧清洗机采用长寿命 UV 石英低压汞蒸汽格栅灯，样品台高度可调并可选加热控温，以便达到很佳清洗效果。

产品特点

 可编程数字控制器，设置操作简单方便，四键操作控制。

 数字倒计时显示清洗时间，1-999 分钟之间可自行设置清洗时间。

 任何时间可以手动中断处理过程。

 自动记录之前清洗参数设置。

 样品台可控温（可选），控温范围 RT-260℃，控温精度 0.1℃。

 上置式样品台设计，360 度自由放置样品，操作方便。

 样品台高度可调，通过调节灯与样品之间的间距，可以合理定位样品高度和位置，位置可锁定。

 UV 石英低压汞蒸汽格栅灯，灯管寿命大约为 8000 小时。

 高强度 UV 灯源，波长 185nm 和 254nm。

 UV 反射罩（长 X 宽）比 UV 格栅灯大 2.5cm，比如规格为 13x13cm，格栅灯反射罩尺寸大于 15×15cm。

 双重安全保护，当清洗腔打开时，系统安全锁会关掉 UV 灯，并有灯光通断提示。

 带进&出气口双气路设计，可接入氧气，增加臭氧产量。

 可选臭氧中和器，用于臭氧清除。

 可根据客户要求定制铝或石英材料真空反应腔。

注：UVO 型基础型样品台不带加热功能，样品台高度不可调；UVOP 可选配样品台加热功能，样品台高度

可调；UVOT 标配样品台加热功能，样品台高度可调。